为满足学院师生对SEM、EDS及EBSD的测试需求，学院购置了ZEISS场发射扫描电子显微镜，近期已完成安装调试，将于2025年6月3日开放试运行，欢迎全院师生预约使用。具体情况介绍如下：

1.设备信息及技术指标

1.1 品牌型号：ZEISS，Sigma 360

1.2 电子光学系统：

1.2.1 分辨率：0.9nm@15kV（SE, 标准模式，非减速台模式），1.3nm@1kV（SE，标准模式，非减速台模式）1.9nm@0.5kV（SE，标准模式，非减速台模式）；

1.2.2 放大倍率：10～1000000x，根据加速电压和工作距离改变，放大倍数自动校准，倍数切换无需模式更换且连续可调；

1.2.3 电子枪：肖特基热场发射电子枪；

1.2.4 电子束流：3pA～20nA，稳定性优于0.2%/h，抗噪性能优于1%/h，无需手动切换光阑；

1.2.5 加速电压（非着陆电压）：0.02kV～30kV，以10V为步进连续可调，从低电压到高电压无需模式切换；

1.2.6 Sigma360的Gemini电子束物镜系统采用复合物镜结构设计，物镜极靴下方配置了静电透镜，具备无磁场泄露设计，能够对磁性材料进行近距离高分辨观测；

1.2.7 Sigma360的Gemini电子束系统配置了无交叉光路。

2. 设备配置

2.1 能谱仪(EDS)，型号：Bruker Xflash 730；

2.2 电子背散射衍射仪(EBSD)，型号：Bruker eFlash FS；

2.3 主动式外置减震台，型号：DAEIL U1000；

2.4 磁控离子溅射仪，型号：天泽智能TZZN-1000CK。

3.试运行办法

3.1 预约时段：09:30-12:00，13:15-16:45；

3.2 预约方式：电镜预约QQ群962272033；

3.3 试运行时间：2025年6月3号至2025年6月30号；

3.4 预约要求：试运行期间，为惠及更多使用者，限定每课题组每天最多预约2小时；

3.5 收费方式及标准：仪器使用实行账户预存扣费制度，根据用户实际使用时长或次数结算并扣减相应费用。用户在试运行开始后的两周内充值至平台账户即可，账户充值请联系负责人赵老师。试运行期间八折收费（SEM、EDS模块240元/小时，EBSD 模块320元/小时，离子溅射仪模块40元/次）；

账户充值流程：

（1）请各位老师（或者指定的学生）填写《西北工业大学大型仪器设备开放共享收费单》（附件1）（共享平台留作备份）、《西北工业大学大型仪器设备共享服务测试协议》（附件2）（共享平台留作备份），《物理科学与技术学院分析测试共享平台分析测试、实验加工使用明细》（附件3）（财务报账用）各一式一份。

（2）请持《收费单》、《测试协议》、《使用明细》和《补充协议》（如有）到共享平台（理学院楼A101室），由共享平台老师线上开具《西北工业大学内部结算统一票据》，并将票据推送至经费负责人财务系统中。

（3）经费负责人收到如“【西北工业大学】******（工号）老师，您申请的校内转账收据已开具成功，请3个工作日内进入网上报账系统——项目转账模块进行转账操作。[计划财务部]”短信后，根据附件5在财务系统中进行无纸化报销。

（4）共享平台管理老师在开票系统中查看到该笔费用显示“已核销”，即证明完成转账手续，该笔费用将存入该老师在共享平台的账户中。

3.6 设备存放地址：长安校区理学院A座101；

3.7 设备管理老师及咨询电话：赵心碧 13093995351。

4.补充办法

4.1 针对新设备，学生须通过考核才能开放夜间操作权限，故设备夜间暂不开放。后期会向通过考核人员开放夜间预约权限，夜间半价收费；

4.2 在设备使用过程中，如由使用人操作不当导致设备故障或损毁的，使用人或使用人所在团队须承担相应赔偿责任。

学院分析测试共享平台秉承“竭诚为全校双一流建设服务”之原则，力求周到顺畅，但一些运行模式和办法仍处于摸索阶段，需经一段时间的运行检验，如效果不理想，会及时更改革新。欢迎院内师生多提宝贵意见和建议！

欢迎全院师生预约测试!

物理科学与技术学院

2025年5月30日